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產(chǎn)品簡介

C系列是我們的入門款式探針臺,機(jī)構(gòu)上可以符合基本量測需求。這為直流和射頻應(yīng)用提供了可重復(fù)良好的測量。

功能特點

-同軸滑臺驅(qū)動的探針臺

??? XY同軸載物臺低重心僅25mm厚

??? 用戶友好的一只手抓住兩個XY旋鈕

??? 快速移動25mm /轉(zhuǎn) 方便快速找到目標(biāo)物

??? 精細(xì)定位10微米Die目標(biāo)物

-卡盤上/下調(diào)整, 卡盤快速Z-移動：4毫米

-無間隙運動

-可安裝12個探針座

-蜂巢式抗震囊

應(yīng)用

基礎(chǔ)IV/CV；射頻；光電學(xué)

配件

帶溫度控制器的熱卡盤

防震桌

屏蔽箱

規(guī)格參數(shù)

探針臺面積

580 mm 寬 ? ?x 460mm 深

探針臺高度

140 mm (到平臺)/700 mm (到顯微鏡)

探針臺重量

40kg

平臺材料

硬鉻電鍍鋼

平臺尺寸

250 mm U型缺口寬, 450mm 外部

平臺容量

12 DC 或 4 ? ?RF 4 DC

探針座安裝

磁性O(shè)N/OFF開關(guān)

真空開關(guān)的數(shù)量

3

卡盤材料

不銹鋼

卡盤臺類型

同軸（可選配大旋鈕高精度滑臺）

卡盤行程範(fàn)圍

6” x 6”

卡盤快速精度

25mm/rev

卡盤精度

10 μm

卡盤旋轉(zhuǎn)粗調(diào)行程

360?

卡盤 Z向移動

4mm 範(fàn)圍

卡盤 Z 向精度

1 μm

同軸卡盤運動

斜面齒輪和齒條0.8mm間距

大旋鈕卡盤移動（選配）

高精度線性滑臺

卡盤大小

6” (150 mm)

卡盤平面度

3 μm

卡盤剛度

15 μm / 10 N @ 邊沿

卡盤真空槽

中心，1”, 3” ,5”（單獨控制）

卡盤偏置容量

可達(dá)到 1kV

卡盤隔離

2 G?

DUT 尺寸範(fàn)圍

2 mm - 150 mm

顯微鏡變焦範(fàn)圍

1x - 5x

顯微鏡目鏡

20x

顯微鏡放大範(fàn)圍

20x-100x

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探針座都提供X-Y-Z直線運動行程，無齒隙，安裝選項包括磁鐵、真空或磁鐵開關(guān)底座

EB-050

精度：0.8µm

螺絲精度：212µm

行程範(fàn)圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：52 ?mm W X 96 mm D X 76 mm H重量：550 g

用途：支持DC/RF

EB-700

精度：2µm

螺絲精度：630µm

行程範(fàn)圍：線性12 mm ?X-Y-Z尺寸：38 mm W X 62 mm D X 45 mm H重量：200 g

用途：僅DC

EB-005

精度：0.3µm

螺絲精度：125µm

行程範(fàn)圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：90 ?mm W X 130 mm D X 90 mm H重量：1000 g

用途：支持DC/RF

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C-6RF

射頻選件包括附加的U形卡盤以及用於接觸和校準(zhǔn)基板，以及一個細(xì)旋轉(zhuǎn)旋鈕，以幫助將設(shè)備與探針對準(zhǔn)。

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VFT-3636

尺寸：36英寸（寬）x 36英寸（深）x 36英寸（高）

垂直固有頻率：1.5 Hz

隔離效率：@ 5 Hz 85％

水平固有頻率：1.2 Hz隔離效率：@ 5 ?Hz 91％

空氣需求量：80 psi

凈負(fù)載：200公斤

材質(zhì)：鋼桌面